在监测SF6气体水分含量时，常用的水分传感器有4种类型。这些传感器常见于 SF6 分析仪和其他监测设备中。
氧化铝传感器：
这可能是较旧的设计类型，但 AL2O3 传感器至今仍普遍使用。这些传统传感器的使用温度范围为 +20°C 至 -70°C，精度等级为 +/- 3°C atm。不使用时，传感器保存在充满干燥剂（用作干燥剂的吸湿物质）的室内。当需要进行测量时，除去干燥剂，从而将传感器暴露在气体中。该过程称为“润湿测试”，因为与干燥剂相比，SF6 的水分含量更高。氧化铝传感器通常在非常干燥的气体上表现更好。不幸的是，该传感器因在其表面捕获 SF6 而闻名，从而导致错误的干燥读数。 AL203 传感器比其他传感器需要更频繁地校准，如果最近未使用传感器，则应适应环境湿度和温度几个小时。
电容性聚合物:
这些传感器因其坚固性、可重复性和较低的成本而成为受欢迎的选择。精确测量范围约为 +20°C 至 -60°C，准确度等级为 +/- 2°C atm。这些传感器在大多数户外 SF6 断路器的预期湿度范围内工作得很好，但在测量非常干燥的 SF6（通常低于 50 ppmv）时有时可能不准确。由于传感器在储存时会暴露在环境湿气中，因此在使用前需要用新的 SF6 气体进行干燥（该过程称为“干燥测试”）。如果由于读数过度潮湿或结果不稳定而怀疑传感器漂移过多，则可以使用已知量的气体在现场交叉检查设备。否则，最佳做法是将设备送回制造商进行维修/校准。
冷镜
这 冷镜传感器 被高度认为是最准确的传感器之一。典型测量范围为 +20°C 至 -50°C，精度等级为 +/- 0.2°C。自动取款机。在操作过程中，抛光的镜面被冷却到在镜面上形成冷凝的点。然后测量温度读数。由于该冷凝温度特定于水蒸气浓度，因此无需使用湿度传感器即可获得极其精确的结果。不幸的是，冷镜需要非常干净的环境，这意味着对于经常在现场使用的装置需要进行大量的清洁。清洁镜子需要快速拆卸并使用无菌棉签。
NDIR（非色散红外线）
NDIR 以其极快的响应时间和精确的读数而闻名。理想的测量范围为 +20°C 至 -50°C，精度等级为 +/- 0.5°C。自动取款机。在测量过程中，宽带红外发射器使光穿过内部装有气体样本的小室。检测器前面的滤光片消除了除气体吸收的红外波长之外的所有波长。然后通过特定波长的吸收来测量气体浓度。 NDIR 的优点在于它没有消耗品，不会因传感器退化而产生漂移，并且不受电弧副产品的影响。该技术的缺点是，由于每次测量使用的气体量非常少，操作员必须非常密切地关注操作和测试程序。
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